The Physics of Micro/Nano-Fabrication

622 Seiten, Hardcover
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Reihe Microdevices
ISBN 9780306441462
Sprache Englisch
Erscheinungsdatum 31.01.1993
Genre Physik, Astronomie/Atomphysik, Kernphysik
Verlag Springer US
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Springer Nature Customer Service Center GmbH
Europaplatz 3 | DE-69115 Heidelberg
ProductSafety@springernature.com
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Kurzbeschreibung des Verlags

In this revised and expanded edition, the authors provide a comprehensive overview of the tools, technologies, and physical models needed to understand, build, and analyze microdevices. Students, specialists within the field, and researchers in related fields will appreciate their unified presentation and extensive references.

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Reihe Microdevices
ISBN 9780306441462
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