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Rapid Thermal Processing of Semiconductors
358 Seiten, Hardcover
€ 241,99
| Reihe | Microdevices |
|---|---|
| ISBN | 9780306450549 |
| Sprache | Englisch |
| Erscheinungsdatum | 31.05.1997 |
| Genre | Technik/Maschinenbau, Fertigungstechnik |
| Verlag | Springer US |
| Lieferzeit | Lieferbar in 11 Werktagen |
| Herstellerangaben | Anzeigen Springer Nature Customer Service Center GmbH Europaplatz 3 | DE-69115 Heidelberg ProductSafety@springernature.com |
Unsere Prinzipien
- ✔ kostenlose Lieferung innerhalb Österreichs ab € 35,–
- ✔ über 1,5 Mio. Bücher, DVDs & CDs im Angebot
- ✔ alle FALTER-Produkte und Abos, nur hier!
- ✔ hohe Sicherheit durch SSL-Verschlüsselung (RSA 4096 bit)
- ✔ keine Weitergabe personenbezogener Daten an Dritte
- ✔ als 100% österreichisches Unternehmen liefern wir innerhalb Österreichs mit der Österreichischen Post
Kurzbeschreibung des Verlags
Rapid thermal processing has contributed to the development of single wafer cluster processing tools and other innovations in integrated circuit manufacturing environments. Borisenko and Hesketh review theoretical and experimental progress in the field, discussing a wide range of materials, processes, and conditions. They thoroughly cover the work of international investigators in the field.
| Reihe | Microdevices |
|---|---|
| ISBN | 9780306450549 |
| Sprache | Englisch |
| Erscheinungsdatum | 31.05.1997 |
| Genre | Technik/Maschinenbau, Fertigungstechnik |
| Verlag | Springer US |
| Lieferzeit | Lieferbar in 11 Werktagen |
| Herstellerangaben | Anzeigen Springer Nature Customer Service Center GmbH Europaplatz 3 | DE-69115 Heidelberg ProductSafety@springernature.com |
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