Experimental Characterization Techniques for Micro/Nanoscale Devices

500 Seiten, Hardcover
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Reihe Microsystems
Themen Technologie, Ingenieurswissenschaft, Landwirtschaft, Industrieprozesse Technologie, allgemein Nanotechnologie
ISBN 9780387308623
Sprache Englisch
Erscheinungsdatum 01.03.2007
Verlag Springer London
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Libri GmbH
Europaallee 1 | D-36244 Bad Hersfeld
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Kurzbeschreibung des Verlags

This title introduces commonly utilized and important techniques for the dynamic measurement and characterization of MEMS and NEMS devices. It outlines many of the techniques available for the test and characterization of MEMS and gives guidance in choosing an adequate technique for monitoring certain signals.

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