Wafer Manufacturing

Shaping of Single Crystal Silicon Wafers
304 Seiten, Hardcover
€ 216,20
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ISBN 9780470061213
Sprache Englisch
Erscheinungsdatum 29.03.2021
Größe 246 x 168 mm
Verlag Wiley
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Boschstrasse 12 | DE-69469 Weinheim
product_safety@wiley.com
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Kurzbeschreibung des Verlags

Presenting all the major stages in wafer manufacturing, from crystals to prime wafers. This book first outlines the physics, associated metrology, process modelling and quality requirements and the goes on to discuss wafer forming and wafer surface preparation techniques.  The whole is rounded off with a chapter on the research and future challenges in wafer manufacturing.

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