Surfaces, Interfaces, and Films for Microelectronics

536 Seiten, Hardcover
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ISBN 9780470174470
Sprache Englisch
Erscheinungsdatum 01.01.2008
Größe 231 x 165 mm
Verlag Wiley
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Boschstrasse 12 | DE-69469 Weinheim
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Kurzbeschreibung des Verlags

The practical, accessible independent-study guide and text on surface science fundamentals and microelectronics processes, this reference explains key concepts and important analytical techniques. It discusses films and interfaces, electronic passivation of semiconductor-dielectric film interfaces, the Si-SiO2 interface, and other MOSFET interfaces, and includes figures, charts, exercises, and examples of applications. This is the ideal guide to help professionals in the electronics industry get up to speed fast. It is also an excellent text for upper-level graduate and undergraduate students.

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