Semiconductor Wafer Bonding

320 Seiten, Hardcover
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Reihe John Wiley & Sons
ISBN 9780471574811
Sprache Englisch
Erscheinungsdatum 23.11.1998
Größe 240 x 161 mm
Verlag John Wiley & Sons
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HerstellerangabenAnzeigen
Boschstrasse 12 | DE-69469 Weinheim
product_safety@wiley.com
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Kurzbeschreibung des Verlags

Bonding - eine Technik zum "Verschweißen" von Halbleiter-Wafers ohne "Klebstoff" - wird in der Mikroelektronik, Energieelektronik, Mikromechanik, Optoelektronik und anderen Bereichen verbreitet eingesetzt. Dieser Band sammelt und systematisiert die in der Literatur verstreuten Informationen zum Wafer-Bonding; es finden sich beispielsweise Kapitel zum Bonding bei Raumtemperatur, zur Wärmebehandlung, zum Bonding ungleicher Materialien und strukturierter Wafers. (01/99)

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