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Glow-Discharge Hydrogenated Amorphous Silicon

von K. Tanaka
292 Seiten, Hardcover
€ 383,30
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Reihe Advances in Solid State Technology
Themen Technologie, Ingenieurswissenschaft, Landwirtschaft, Industrieprozesse Maschinenbau und Werkstoffe Materialwissenschaft Werkstoffprüfung
ISBN 9780792303091
Sprache Englisch
Erscheinungsdatum 30.11.1989
Größe 241 x 160 mm
Verlag Springer
LieferzeitLieferung in 7-14 Werktagen
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Europaplatz 3 | DE-69115 Heidelberg
ProductSafety@springernature.com
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Kurzbeschreibung des Verlags

A graduate-level description of recent Japanese research on the chemistry of amorphous silicon film deposition associated with plasma CVD, a step in producing amorphous semiconductors. Reports on studies (of microscopic processes of gas-phase reaction as well as chemical reactions on the film growin

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Reihe Advances in Solid State Technology
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