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Chemistry of Atomic Layer Deposition
105 Seiten, Taschenbuch
€ 84.95
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Reihe | De Gruyter Textbook |
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ISBN | 9783110712513 |
Sprache | Englisch |
Erscheinungsdatum | 22.11.2021 |
Genre | Technik/Chemische Technik |
Verlag | De Gruyter |
Lieferzeit | Lieferbar in 6 Tagen |
Herstellerangaben | Anzeigen De Gruyter GmbH Genthiner Straße 13 | DE-10785 Berlin productsafety@degruyterbrill.com |
This book will help chemists and non-chemists alike understand the fundamentals of surface chemistry and precursor design, and how these precursors drive the processes of atomic layer deposition, and how the surface-precursor interaction governs atomic layer deposition processes. The underlying principles in atomic layer deposition rely on the chemistry of a precursor with a surface.
Reihe | De Gruyter Textbook |
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ISBN | 9783110712513 |
Sprache | Englisch |
Erscheinungsdatum | 22.11.2021 |
Genre | Technik/Chemische Technik |
Verlag | De Gruyter |
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Herstellerangaben | Anzeigen De Gruyter GmbH Genthiner Straße 13 | DE-10785 Berlin productsafety@degruyterbrill.com |
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