Atomic Layer Processing

Semiconductor Dry Etching Technology
304 Seiten, Taschenbuch
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Themen Technologie, Ingenieurswissenschaft, Landwirtschaft, Industrieprozesse Maschinenbau und Werkstoffe Materialwissenschaft Technische Anwendung von Oberflächenbeschichtungen und -filmen
ISBN 9783527346684
Sprache Englisch
Erscheinungsdatum 21.04.2021
Größe 24.4 x 17 cm
Verlag Wiley-VCH
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Wiley-VCH GmbH
Boschstrasse 12 | DE-69469 Weinheim
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Kurzbeschreibung des Verlags

This practical guide, written by an author actively involved in corporate R&D, provides in-depth information on etching technologies that are used in the semiconductor industry, helping engineers to select the right technologies for their task and to design etching processes.

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