Plasma Chemistry III

140 Seiten, Taschenbuch
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Reihe Topics in Current Chemistry
Themen Mathematik und Naturwissenschaften Chemie Physikalische Chemie
ISBN 9783662159729
Sprache Englisch
Erscheinungsdatum 03.10.2013
Größe 244 x 170 mm
Verlag Springer
Herausgegeben von S. Veprek, M. Venugopalan
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Kurzbeschreibung des Verlags

Plasma chemistry of fluorocarbons as related to plasma etching and plasma polymerization.- The Mechanism and kinetics of plasma polymerization.- Elementary processes at solid surfaces immersed in low pressure plasmas.

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