Langzeitstabilität der Innendrücke von Kavernen benachbarter MEMS-Sensoren auf Siliziumbasis

von Marlene Kopf

220 Seiten, Taschenbuch

Kurzbeschreibung des Verlags

Aufgrund eines Trends zur Miniaturisierung vieler MEMS-Bauelemente und somit auch der Kavernenvolumina von Inertialsensoren wird der Einfluss geringfügiger Veränderungen der Dämpfungsatmosphäre in Sensorkavernen auf die Zuverlässigkeit der Sensoren immer größer. In dieser Arbeit werden Mechanismen untersucht, die sich auf die Druckstabilität von Gyroskopen auswirken, und Gegenmaßnahmen vorgestellt. Ein Schwerpunkt liegt auf Desorptionsquellen sowie Gasdiffusionspfaden im Sensoraufbau. Due to a trend towards miniaturization of many MEMS devices and thus also the cavity volumes of inertial sensors, the influence of slight changes in the damping atmosphere in sensor cavities on the reliability of the sensors is increasing. In this work, mechanisms affecting the pressure stability of gyroscopes are investigated and countermeasures are presented. A focus is placed on desorption sources as well as gas diffusion paths in the sensor layer stack.

• Reihe: Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie / Hrsg.: Institut für Mikrostrukturtechnik
• ISBN: 9783731511212
• Erscheinungsdatum: 31.03.2022
• Genre: Technik/Maschinenbau, Fertigungstechnik
• Verlag: KIT Scientific Publishing