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Einflussfaktoren auf die Emissionseigenschaften einer EUV Strahlungsquelle im Langzeitbetrieb
146 Seiten, Buch
€ 40.1
| Reihe | Ergebnisse aus der Lasertechnik |
|---|---|
| ISBN | 9783863598594 |
| Erscheinungsdatum | 11.05.2020 |
| Genre | Naturwissenschaften allgemein |
| Verlag | Apprimus Verlag |
| Lieferzeit | Lieferung in 7-14 Werktagen |
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Kurzbeschreibung des Verlags
Für die Weiterentwicklung der EUV-Lithographie werden kompakte und langzeitstabile EUV-Strahlungsquellen für Forschungs- und Entwicklungsarbeiten benötigt. In dieser Arbeit wird eine EUV-Strahlungsquelle auf Basis einer Gasentladung – dem hohlkathodengetriggerten Pinchplasma – bezüglich der im Langzeitbetrieb relevanten Einflussfaktoren untersucht. Signifikante Verbesserungen der Leistungsfähigkeit werden demonstriert und ein technologischer Ausblick vorgestellt.
| Reihe | Ergebnisse aus der Lasertechnik |
|---|---|
| ISBN | 9783863598594 |
| Erscheinungsdatum | 11.05.2020 |
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