Entwicklung eines Hochtemperatur-Magnetfeldsensors zur Detektion schwacher Felder

195 Seiten, Taschenbuch
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Reihe Berichte aus dem IMPT
ISBN 9783959000321
Erscheinungsdatum 15.09.2015
Genre Technik/Maschinenbau, Fertigungstechnik
Verlag TEWISS
Reihe herausgegeben von Lutz Rissing
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Kurzbeschreibung des Verlags

Umgebungen mit mehr als 150 °C stellen eine besondere Herausforderung für Sensoren dar. Eine zunehmende Anzahl von Applikationen erfordert jedoch Sensoren, die eine solche thermische Stabilität aufweisen. Im Rahmen dieser Arbeit wird die Entwicklung eines Magnetfeldsensors untersucht, welcher auch bei 250 °C zuverlässig arbeitet und dabei sensitiv genug ist, kleine Magnetfelder, wie das der Erde, zu erfassen. Im Fokus stehen die Entwicklung eines thermisch stabilen Schichtsystems sowie der Entwurf eines geeigneten Sensordesigns und dessen prozesstechnische Umsetzung mit abschließender Charakterisierung.

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