Realisierung von AMR-Sensoren auf umgeformten metallischen Substraten

165 Seiten, Buch
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Reihe Berichte aus dem IMPT
ISBN 9783959001632
Erscheinungsdatum 21.11.2017
Genre Technik/Maschinenbau, Fertigungstechnik
Verlag TEWISS
Reihe herausgegeben von Lutz Rissing
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Kurzbeschreibung des Verlags

In dieser Dissertation wird ein neuentwickelter Fertigungsansatz für die Realisierung anisotroper magnetoresistiver (AMR) Sensoren vorgestellt. Die AMR-Sensoren werden auf einem metallischen Substrat, das nach der dünnfilmtechnischen Fertigung umgeformt wird, realisiert. Durch diese Vorgehensweise soll eine erhöhte Integrationsfähigkeit von Sensoren in technischen Systemen erreicht werden. Der Funktionsnachweis der Sensoren wird beispielhaft anhand eines Messaufbaus zur Positionsmessung eines Magneten im dreidimensionalen Raum erbracht.

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