GUTSCHEIN
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| Reihe | NATO Science Series E: |
|---|---|
| Themen | Technologie, Ingenieurswissenschaft, Landwirtschaft, Industrieprozesse Elektronik, Nachrichtentechnik Elektronik |
| ISBN | 9780792345671 |
| Sprache | Englisch |
| Erscheinungsdatum | 31.05.1997 |
| Größe | 23.5 x 15.5 cm |
| Verlag | Springer Netherland |
| Herausgegeben von | P.F. Williams |
| Lieferzeit | Lieferung in 7-14 Werktagen |
| Herstellerangaben | Anzeigen Springer Nature Customer Service Center GmbH Europaplatz 3 | DE-69115 Heidelberg ProductSafety@springernature.com |
Plasma Processing of Semiconductors contains 28 contributions from 18 experts and covers plasma etching, plasma deposition, plasma-surface interactions, numerical modelling, plasma diagnostics, less conventional processing applications of plasmas, and industrial applications. Audience: Coverage ranges from introductory to state of the art, thus the book is suitable for graduate-level students seeking an introduction to the field as well as established workers wishing to broaden or update their knowledge.
| Reihe | NATO Science Series E: |
|---|---|
| Themen | Technologie, Ingenieurswissenschaft, Landwirtschaft, Industrieprozesse Elektronik, Nachrichtentechnik Elektronik |
| ISBN | 9780792345671 |
| Sprache | Englisch |
| Erscheinungsdatum | 31.05.1997 |
| Größe | 23.5 x 15.5 cm |
| Verlag | Springer Netherland |
| Herausgegeben von | P.F. Williams |
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| Herstellerangaben | Anzeigen Springer Nature Customer Service Center GmbH Europaplatz 3 | DE-69115 Heidelberg ProductSafety@springernature.com |
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