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Plasma Processing of Semiconductors
613 Seiten, Taschenbuch
€ 329,99
| Reihe | NATO Science Series E: |
|---|---|
| ISBN | 9789401064866 |
| Sprache | Englisch |
| Erscheinungsdatum | 12.10.2012 |
| Genre | Technik/Elektronik, Elektrotechnik, Nachrichtentechnik |
| Verlag | Springer Netherland |
| Herausgegeben von | P.F. Williams |
| Lieferzeit | Lieferbar in 6 Werktagen |
| Herstellerangaben | Anzeigen Springer Nature Customer Service Center GmbH ProductSafety@springernature.com |
Unsere Prinzipien
- ✔ kostenlose Lieferung innerhalb Österreichs ab € 35,–
- ✔ über 1,5 Mio. Bücher, DVDs & CDs im Angebot
- ✔ alle FALTER-Produkte und Abos, nur hier!
- ✔ hohe Sicherheit durch SSL-Verschlüsselung (RSA 4096 bit)
- ✔ keine Weitergabe personenbezogener Daten an Dritte
- ✔ als 100% österreichisches Unternehmen liefern wir innerhalb Österreichs mit der Österreichischen Post
Kurzbeschreibung des Verlags
Plasma Processing of Semiconductors contains 28 contributions from 18 experts and covers plasma etching, plasma deposition, plasma-surface interactions, numerical modelling, plasma diagnostics, less conventional processing applications of plasmas, and industrial applications.
Audience: Coverage ranges from introductory to state of the art, thus the book is suitable for graduate-level students seeking an introduction to the field as well as established workers wishing to broaden or update their knowledge.
| Reihe | NATO Science Series E: |
|---|---|
| ISBN | 9789401064866 |
| Sprache | Englisch |
| Erscheinungsdatum | 12.10.2012 |
| Genre | Technik/Elektronik, Elektrotechnik, Nachrichtentechnik |
| Verlag | Springer Netherland |
| Herausgegeben von | P.F. Williams |
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